PowerPoint 簡報

SEM的主要構造

電子鎗(Electron gun)

電磁透鏡(Electromagnetic lens)

透鏡光圈(Apertures)

柱體(Column)

樣品座(Specimen stage)

訊號偵測及影像顯示系統(Signal detection and display component)

電子控制線路模組(Electronics modules)